电子束光刻机年保及移机服务采购（XDF22033）单一来源公示
发布日期：2022-05-17
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一、项目信息
项目名称：电子束光刻机年保及移机服务采购
项目编号：XDF22033
拟采购的服务预算金额：99.5万元
采用单一来源采购方式的原因及说明：
我校现有nanobeam电子束光刻机设备一台，设备型号为NB5，光刻分辨率为20nm，于2014年安装。因学校科研工作需要，该设备需进行移机和保养工作，需要对设备各部件进行拆除、打包、重新安装，同时该设备需进行整体保养。通过对目前国际上可对该类设备进行维护保养及移机服务供应厂商进行充分调研，电子束光刻机作为一种先进的光刻设备，目前国内没有厂家可进行维护保养。国外可为我校提供 Nanobeam NB5 型电子束光刻机保养的公司只有原厂英国 nanobeam 公司。本项目经专家论证，满足单一来源采购的条件，故采用单一来源方式进行采购。
二、拟定供应商信息
名称：NanoBeam Limited
地址：Unit 4 College Business Park, Coldhams Lane CAMBRIDGE CB1 3HD United Kingdom
三、公示期限
2022年5月18日至2022年5月24日
四、其他补充事宜：
潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至西安电子科技大学采购与招标管理办公室（电子邮箱cgzy@xidian.edu.cn）。
五、联系方式
西安电子科技大学采购与招标管理办公室
联 系 人：张老师
联系电话：029-81891080